P79壓電掃描臺為一維Z軸微動平臺,主要用于配套宏動XY軸顯微掃描臺以及市面上壓電馬達平臺。當XY軸平臺定位樣品之后,P79平臺可以對其進行Z軸快速精密的聚焦調節,階躍時間達毫秒量級。
兩款規格型號、開閉環可選
P79系列Z向掃描臺有兩款規格型號,Z向位移可選110μm或210μm,閉環版本可實現超高的定位精度。
表面絕緣壓電陶瓷提供長使用壽命
壓電掃描臺采用高性、高穩定性的表面絕緣壓電陶瓷,陶瓷抵抗外部環境的能力非常高且無漏電現象。
大通孔、快速聚焦、Z向捕獲、超精密導向機構
P79系列壓電掃描臺,大通孔設計主要是為了滿足各種樣品夾持結構,如多井控制盤。
壓電陶瓷驅動具有超快的響應速度,Z軸步進速度和穩定時間僅為馬達驅動的1/20,大大提高了成像捕獲能力和生產能力。
對于有定位精度及穩定性需求的應用,可以選擇配置SGS閉環傳感器,裝配在平臺較適合的位置,提供高分辨率、快速響應的傳感電壓信號給壓電控制器。全橋設計避免了溫度的漂移,確保了定位精度實現納米級。











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