P12系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動、1~3維并聯式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選25mm或35mm，滿足顯微等應用。壓電掃描臺可以實現單軸320μm的位移行程，一體式結構使得多維運動無耦合、多種規格型號可選，以滿足不同應用的需求。

1~3維掃描臺

P12系列壓電納米定位臺為1~3維直線壓電掃描臺，包括X、Z、XY、XZ、XYZ等多種規格型號，通孔直徑25mm或35mm可選。

P12.Z300閉環穩定時間圖

P12系列壓電掃描臺具有優異的階躍穩定性，下圖為P12.Z300大位移320μm閉環穩定時間圖。

小體積、大位移、中心通孔

P12系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，超小的體積外形，尺寸僅為60×60×24mm，可以實現大320μm的掃描范圍，中心通孔可選25mm或35mm，35mm通孔對應臺體外形尺寸為70×70×24mm。

臺體采用FEA有限元分析優化設計，具有零摩擦、超高導向精度、納米級分辨率等優點。

P12系列壓電掃描臺內置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩定性。