壓電掃描臺為二維XY軸掃描平臺，一體式結構設計原理，壓電陶瓷直驅機構，可實現8μm的掃描范圍，臺體高度僅為17mm，閉環版本具有超高的定位精度，適用于顯微掃描等應用。

壓電陶瓷嵌套式一體結構

N63壓電掃描臺采用壓電陶瓷直驅機構設計原理，嵌套式機構使其具有非常良好的動態性能。

一體式超薄結構、高分辨率、閉環精度高

N63壓電掃描臺為XY二維平移掃描臺，平臺采用柔性鉸鏈導向壓電陶瓷直驅的機構設計，具有無間隙、無后坐力、無摩擦等特點，使其具有超高的分辨率達0.2nm。

可選擇內置高性能傳感器實現8×8μm范圍內超高的定位精度。

N63壓電掃描臺由于具有超薄的結構，臺體僅為17mm，中心通孔非常便于與顯微鏡配套安裝。