N12系列壓電掃描臺為1~3維并聯式平移掃描臺，臺體中心方形通孔，內部采用無摩擦的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優化結構，具有超高的導向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點，平臺內可選擇配置高性能傳感器進行全閉環反饋，實現滿行程0.04%的重復定位精度。

1~3維掃描臺

N12系列壓電掃描臺包含X、Z、XY、XZ、XYZ五種規格型號。

閉環傳感定位精度高

N12系列壓電掃描臺配置高分辨率傳感器，對位置實時檢測并反饋到壓電控制器，控制器通過PID算法調整電壓修正位移，從而實現高精度定位。

N12.XYZ壓電掃描臺配套芯明天E72系列模塊化控制器應用于光學顯微成像，實現XYZ軸精密掃描。

小體積、大位移、中心通孔

N12系列納米定位臺體積非常小巧，位移可達110μm。的平行運動學設計原理，使得平臺可以實現XYZ軸高速精密運動。這款產品的應用非常廣泛，從光學研究到工業化OEM系統等。

該系列壓電掃描臺的通光孔為45×45mm。高剛度以及優異的直線性使其成為光學、激光領域納米級精密定位應用。