P77系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心為106mm大通光孔，壓電陶瓷直驅機構，內置高性能壓電陶瓷，可以實現Z軸20μm的位移行程，無摩擦柔性導向機構具有超高的分辨率，閉環版本定位精度可達納米級，是光學移相器。

應用案例

芯明天P77壓電移相器以其大通孔、納米級分辨率、高精度等特點廣泛應用于現代干涉儀中，大大提高了干涉儀的測量精度。

大孔徑、大承載、高諧振頻率

P77系列壓電掃描臺采用優異的柔性鉸鏈導向機構設計，利用有限元分析優化，剛度可達8N/μm，空載諧振頻率300Hz。

閉環版本內置高精度傳感器，對位移實時監測反饋，可實現納米級的重復定位精度及線性度。

壓電掃描臺中心106mm的大通光孔，是光學移相器，該產品已廣泛應用于激光平面干涉儀等設備。