P78系列壓電掃描臺為一維Z軸運動平臺，壓電平臺中心方形通孔尺寸為64×64mm，放大機構(gòu)內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可以實現(xiàn)Z軸210μm或300μm的位移行程，優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)具有超高的定位精度，適用于需要大行程精密定位的應(yīng)用領(lǐng)域。

閉環(huán)重復(fù)定位精度高

P78.Z壓電掃描臺滿幅值300μm的閉環(huán)重復(fù)定位精度為0.05%。

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78系列壓電掃描臺，采用機構(gòu)放大設(shè)計原理，可以實現(xiàn)Z軸210μm或300μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化實現(xiàn)納米級的分辨率、毫秒級的響應(yīng)

時間。

P78系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器，對位移實現(xiàn)實時監(jiān)測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實現(xiàn)納米級精密控制。掃描臺臺體中心通孔尺寸64×64mm，適用于干涉、掃描、表面檢測等應(yīng)用。