XP-780系列壓電掃描臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)X軸大220μm的位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺(tái)具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺(tái)可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實(shí)現(xiàn)二維、三維運(yùn)動(dòng)。

1~3維掃描臺(tái)

XP-780系列壓電掃描臺(tái)包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格型號(hào)，可以自由疊加組合。

大行程、高精度、大負(fù)載

XP-780系列大行程壓電掃描臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，可以實(shí)現(xiàn)大220μm的位移行程，無摩擦無空回的柔性導(dǎo)向機(jī)構(gòu)使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的定位精度，臺(tái)體通孔使其適用于顯微掃描等應(yīng)用。

優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具有非常高的剛度，承載能力大，可帶載5kg的樣品作精密定位。