N65系列壓電掃描臺(tái)為XY軸平移掃描臺(tái)，采用XY軸一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，中心具有通孔尺寸為25×27.5mm，產(chǎn)品體積小巧、性能穩(wěn)定，N65系列掃描臺(tái)為開環(huán)版本、動(dòng)態(tài)性好，適用于動(dòng)態(tài)掃描應(yīng)用領(lǐng)域。

滿幅值階躍時(shí)間圖

N65系列壓電掃描臺(tái)配套芯明天大功率E00/E01系列壓電控制器，可實(shí)現(xiàn)滿幅值階躍時(shí)間為1.5ms。

剛度大、分辨率高、諧振頻率高

N65系列壓電掃描臺(tái)，采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，臺(tái)面四角配有通孔，便于集成與安裝。

N65壓電掃描臺(tái)以開環(huán)版本為主，具有超高的分辨率，可達(dá)0.2nm。優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使其具有3N/μm的高剛度，XY軸空載諧振頻率均可達(dá)到1KHz，該產(chǎn)品是高速掃描應(yīng)用的理想選擇。