一、紫外正性光刻膠 簡(jiǎn)介：
正性光刻膠也稱(chēng)為正膠。正性光刻膠樹(shù)脂是一種叫做線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂的酚醛甲醛，提供光刻膠的粘附性、化學(xué)抗蝕性，當(dāng)沒(méi)有溶解抑制劑存在時(shí)，線(xiàn)性酚醛樹(shù)脂會(huì)溶解在顯影液中，感光劑是光敏化合物，見(jiàn)的是重氮萘醌（DNQ）。在曝光前，DNQ是一種強(qiáng)烈的溶解抑制劑，降低樹(shù)脂的溶解速度。在紫外曝光后，DNQ在光刻膠中化學(xué)分解，成為溶解度增強(qiáng)劑，大幅提高顯影液中的溶解度因子至100或者更高。這種曝光反應(yīng)會(huì)在DNQ中產(chǎn)生羧酸，它在顯影液中溶解度很高。正性光刻膠具有很好的對(duì)比度，所以生成的圖形具有良好的分辨率。
二、紫外正性光刻膠 產(chǎn)品清單：
| 品牌 | 產(chǎn)地 | 型號(hào) | 厚度 | 耐熱溫度 | 應(yīng)用 | ||||||||||
| Futurrex | 美國(guó) | PR1-500A | 0.4μm～0.9μm | 耐熱溫度=110 ℃ |
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| PR1-1000A | 0.7μm～2.0μm | ||||||||||||||
| PR1-1500A | 1.3μm～3.0μm | ||||||||||||||
| PR1-2000A | 1.7μm~4.0μm | ||||||||||||||
| PR1-4000A | 3.7μm~10.0μm | ||||||||||||||
| PR1-12000A | 10.0μm~25.0μm | ||||||||||||||
| Micro Resist | 德國(guó) | ma-P 1200系列 | 0.5～50μm膠厚 | 非常適合作為刻蝕掩模抗干刻、濕刻性能；
堿性水溶液下顯影； 寬帶、g或i線(xiàn)曝光； | |||||||||||
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