ruker探針式表面輪廓儀/臺階儀DektakXT表面輪廓/薄膜厚度/應力/粗糙度等測量系統

布魯克 (Bruker) 是表面測量和檢測技術的，服務于科研和生產領域。布魯克DektakXT （探針式表面輪廓儀）設計，實現了更高的重復性和分辨率，垂直高度重復性<5。這一里程碑式的產品源自于dektak系列占據地位長達四十年的表面測量技術，實現了納米尺度的表面輪廓測量 lt;>

全新的DektakXT成為世界上臺采用具有單拱龍門式設計，配備D攝像機，并且利用64位同步數據處理模式完成測量和操作效率的臺階儀。過去四十多年間，布魯克的臺階儀研制和生產一直在實踐上不斷實現，DektakXT延續了這種性的風格。

應用：

納米尺度的表面輪廓測量、薄膜厚度測量、表面形貌測量、應力測量和平整度等測量，應用于微電子、半導體、太陽能、高亮度LED、觸摸屏、醫療、光學、科學研究和材料科學領域

原理：

當觸針沿被測表面輕輕滑過時，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時，還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經測量電橋后，輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調幅信號。經放大與相敏整流后，可將位移信號從調幅信號中解調出來，得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再經噪音濾波器、波度濾波器進一步濾去調制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響。

根據使用傳感器的不同，接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。

特征：

臺階高度重復性優于5埃 lt;5 ）

單拱龍門式設計實現了突破性的掃描穩定性

的“智能化電子器件"實現了低噪聲的新

操作簡便，高效易用

直觀化的Vision64TM軟件簡化了用戶界面的操作過程

的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現超微力和較大的力測量

自對準的探針設計使用戶可以地更換探針