用途
● 高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通 過氧化反應，在表面生成-OH，＞C=O，-COOH等官能 基（微量的水分及二氧化碳影響）。 同樣在氮氣等離子體中，氮原子被吸收在表面中，生 成-NH 2等官能基。
● 硅晶圓蝕刻。
● 材料表面改性（金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等）。
● 石棉預處理（膜過濾灰化）。
● 從電子設(shè)備到生化市場。
● 低溫灰化（高分子材料、煤炭、食品等）。
● 使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
● 表面有機物去除
特點
● RF為200 W的高性能輸出類型（PR200）。
● 由于是尺寸緊湊的臺式機，很小的位置都可以安裝。
● 同步，自動調(diào)諧，操作簡單（PR200）。
● 等離子體反應器（灰化設(shè)備）（PR200）。
● 同步、自動調(diào)諧（PR200）。
反應腔
［例］石棉分析前處理
規(guī)格
| 型號 | PR200 | PR300 | PR301 | |
| 模式 | DP模式，桶型 | |||
| 控制部 | 高頻輸出 | Max300W | ||
| 頻率 | 13.56MHz | |||
| 同調(diào)方式 | 手動2軸同調(diào)方式 | |||
| 反應部 | 反應腔 | 耐熱玻璃 Φ100×160mm | 超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室 | 耐熱玻璃 Φ118×160mm |
| 反應氣體 | 1系統(tǒng)（氧氣）流量計 | |||
| 控制 | 手動密閉閥 | 自動減壓、自動密閉閥 | ||
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 | 不銹鋼、特氟龍 | ||
| 外形尺寸 | W350×D400×H500mm | W438×D520×H556mm | W438×D520×H630mm | |
| 重量 | 約10kg | 約36kg | 約34kg | |
| 電源 | AC100V 15A | AC100V 7A | ||
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