● 操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調節。
● 可通過網絡進行遠程操作（選購品）。
規格
| 型號 | YSP63FA |
| 模式 | RIE（DP模式選購） |
| 高頻輸功率 | 600W |
| 反應臺尺寸 | W385×D362mm |
| 內腔尺寸 | W395×D378×H45mm（內尺寸） |
| 反應氣體 | 2進氣系統（氧氣、氬氣） |
| 反應氣體流量控制 | 質量流量控制器 |
| 真空泵 | 旋轉式真空泵（約500L/min） |
| 氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 |
| 外形尺寸 | W1860×D1100×H1800mm |
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