用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
● 清洗各類基板。
● 電子部品、材料表面改質(zhì)。
● 去除有機(jī)物和自然氧化膜。
特點(diǎn)
● 體積小，節(jié)省空間。
● 選用小型腔體，反應(yīng)效率高。
● 更容易嵌入生產(chǎn)線使用。
● 可通過(guò)操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應(yīng)臺(tái)。
內(nèi)槽
技術(shù)規(guī)格
| 型號(hào) | YSP600U | YSP2KU |
| 模式 | RIE（DP模式選購(gòu)） | |
| 高頻輸功率 | 600W | 2000W |
| 反應(yīng)臺(tái)尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
| 反應(yīng)氣體 | 2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣） | |
| 反應(yīng)氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器 | |
| 氣體導(dǎo)入口 | 反應(yīng)氣體2個(gè)、填充氣體1個(gè)、空氣1個(gè) | |
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