N90系列六自由度并聯機構，是θx, θy, θz, X, Y, Z六軸運動工作臺，通過六支壓電促動器的協調伸縮實現空間內六個自由度的運動，臺體結構緊湊，三種規格型號可供選擇，閉環型號定位精度高，是六自由度微操作、微電子精密加工等應用。

哈爾濱芯明天科技有限公司專注于納米級精密定位產品的研發、生產和銷售，主要服務于制造精密設備的客戶。經過近20年的快速發展，公司產品已覆蓋全國各地的高校、科研院所以及精密設備制造企業，并遠銷歐、美、日、韓等地。公司與眾多高科技企業、重點實驗室建立了合作伙伴關系，已經成為中國專業的精密定位產品生產廠商。

整等應用。

小體積、中心通孔、高分辨率、高可靠性

N20為一維θz高精度旋轉平臺，旋轉軸位于正中心，中心通孔用于透射光應用，采用有限元分析對微結構進行優化，滿足動態性以及平面導向精度。

平臺內部采用高可靠性壓電陶瓷作為驅動元件，臺體采用的柔性鉸鏈機構具有無摩擦無回彈等特點，使其具有超高的分辨率以及可靠性。

旋轉臺面固定安裝孔便于與其他臺體機構集成配套，也可根據用戶的需求進行OEM定制。