P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。

超薄的設計適用于顯微應用

P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專門為對準、納米聚焦、計量等應用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，非常易于集成到高精度顯微鏡中。

仿真分析

通過有限元FEA優化的鉸鏈用于導向機構偏轉臺。有限元分析技術用于設計運動方向上高的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許精度的運動，因為鉸鏈機構無間隙、無摩擦。

超高導向精度、分辨率高、閉環傳感精度高

P51系列壓電偏轉臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉行程為±1.1mrad，Z軸直線行程可達110μm。

P51偏轉臺臺體采用無回差柔性鉸鏈導向結構，采用有限元分析進行優化，具有超高的剛度以及導向精度。

可選擇內置精密傳感器進行全閉環位置反饋，確保其具有的運動控制精度，直線運動分辨率可達到亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時間為毫秒量級。