P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺,采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計,響應速度快、閉環定位精度高,80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。
應用實例
P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用于軍事激光等領域。
閉環傳感精度高
P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優化,使角度偏移達到小,無空回、無摩擦。
采用壓電陶瓷驅動實現大偏轉范圍±1.1mrad,分辨率高達0.05μrad,可選擇配置閉環傳感器實現0.1%F.S.的重復定位精度。
臺體非常薄,厚度僅為20mm,中心通孔尺寸為80×80mm,P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、計量、定位等應用的選擇。
負載大鏡片
P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm,非常適用于需要透射光的應用,負載后仍可高動態高精度的掃描。







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