XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。

1-3維平移臺

XP-63X系列壓電納米定位臺可以通過疊加的方式組成XY，XZ，XYZ多種運動結構。

多種規格型號可選。

柔性鉸鏈采用精密線切割技術。

應用實例

采用XP-633壓電納米定位臺帶動探針作精密位移定位檢測控制，從而完成1mN的精確力控制實驗。

體積小、剛度大、響應速度快、閉環精度高

XP-63X系列壓電納米定位臺的結構設計，具有大機械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點。負載情況下也具有很高的使用頻率，響應時間可以實現亞毫秒級。例如XP-630帶動20g負載，響應時間僅為5ms。

XP-63X系列產品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺設備集成。

閉環版本配置應變傳感器，可實時檢測位置信號并反饋給閉環控制器，控制器通過PID算法對檢測到的位置信號進行修正，從而實現納米級的精密定位。