P66.X壓電納米定位臺是一維X軸壓電平移臺，它以壓電陶瓷為驅動源并采用直驅式驅動機構，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統。可以通過疊加組合的方式組成二、三維壓電納米定位臺，實現XYZ軸34μm的位移行程，可選擇內置高精度傳感器進行閉環納米級精密定位控制。產品已廣泛應用于干涉、顯微、精密加工等領域。

1-3維平移臺

P66系列壓電納米定位臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規格型號，可以實現1-3維納米級精密運動與定位。

應用實例：原子力探針掃描顯微鏡

芯明天P66.XY壓電納米定位臺以其高響應頻率、高精度、高可靠性等優勢廣泛應用于原子力探針掃描顯微鏡中。

開環與閉環版本可選

P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環或閉環版本，閉環版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動機構的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。

傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現滿行程0.05%的線性度與重復度。