XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)是采用封裝型壓電促動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，具有大承載、響應(yīng)速度快、可靠性高和使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進(jìn)行全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺(tái)適用于精密加工等領(lǐng)域。

1-3維平移臺(tái)

XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)可通過(guò)轉(zhuǎn)接板連接，組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。

多種規(guī)格型號(hào)可選。

柔性鉸鏈采用精密線切割技術(shù)。

宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

XP-623.XY二維壓電納米定位臺(tái)配套二維宏動(dòng)臺(tái)，應(yīng)用于精密加工中。

大負(fù)載、高剛度、高諧振頻率、高穩(wěn)定性

XP-62X系列壓電納米定位臺(tái)采用壓電陶瓷直驅(qū)機(jī)構(gòu)，優(yōu)異的柔性鉸鏈設(shè)計(jì)，具有高剛度、高頻響等特點(diǎn)，剛度可達(dá)40N/μm，空載諧振頻率高達(dá)4.2kHz，適用于需要大負(fù)載、高頻率需求的應(yīng)用，如電化學(xué)加工等。

XP-62X系列壓電平臺(tái)內(nèi)置帶有預(yù)緊力的封裝型壓電陶瓷，平臺(tái)采用有限元建模分析、柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，無(wú)磨損、免維護(hù)，提供的穩(wěn)定性。該產(chǎn)品易于與其他宏動(dòng)臺(tái)產(chǎn)品集成配套，實(shí)現(xiàn)更大行程的精密定位。