雙源電阻熱蒸發設備
型號:SLZF270A
該設備是一臺高真空電阻蒸發設備 可蒸鍍 熔點1300度以下金屬 膜厚：100-400NM；均勻性好于10%.
尺寸：直徑270mm 高300
結構：上開蓋 蒸發舟在下 樣品架在上 前面安裝觀察窗
設備配置：
名稱 | 數量 | 型號/性能 |
真空室 | 1 | 直徑270mmX300mm |
蒸發電源 | 1 | SL1000（1000w） |
蒸發源 | 2 | 5mm |
樣品架 | 1 | 100mm（直徑100mm） |
復合真空計 | 1 | 5227（大氣--1X10-5Pa） |
分子泵 | 1 | 300L/s |
旋片機械泵 | 1 | 4L/s |
前級閥 | 1 | KF25 |
真空操作系統 | 1 | SL10A |
設備性能：
極限真空度 好于 9X10-5Pa
抽速 8x10-4 好于20分鐘
蒸發溫度 1300度
膜厚 100-400NM
均勻性 好于10%.
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