SLZF270B小型蒸發設備

該設備是一臺單腔室熱蒸發設備，可濺射多種材料，真空腔室選用優質304不銹鋼加工 圓柱型 尺寸275mm*300mm，上揭蓋結構；頂部安裝有4英寸樣品架；底部裝有2個電阻蒸發源；前面配有觀察窗；真空獲得系統安裝于真空室下面 包括110分子泵，2L機械泵，壓差閥，波紋管軟連接，電控系統一套包括相序保護，真空控制系統；真空檢測系統 真空計；
設備采用 進口檢漏儀檢漏 漏率超過5*10-10Pa/l/s；
極限真空可達10*10-5Pa；

1，尺寸 275mm*300mm

2，極限真空 10*10-5Pa

3，漏率 5*10-10Pa/l/s

4，抽速 30分鐘 8*10-4Pa

5，蒸發源 2個