在線薄膜缺陷檢測

　　4096線高速線掃描攝像機

　　線光源

　　像素及記憶棒

　　軟件系統：

　　Windows XP Professional操作系統

　　薄膜圖像處理缺陷分級軟件軟件

在線掃描照相機

　　功能部件：CCD在線掃描照相機

　　傳感器：4096像素，傳感器尺寸40.96mm×10μm

　　像素尺寸：10μm×10μm

　　動態速率范圍：1200：1

　　像素頻率：160MHz

　　線頻率：36KHz

　　尼康鏡頭

　　檢測寬度120mm

　　分辨率25μm

　　線性掃描速度：25m/min(約400mm/s)

　　過程速度約32000 lines per 4096像素/s

　　操作溫度10℃~50℃

照明系統

　　LED3線(超高亮度/高聚光)亮度可調，燈長250mm

　　薄膜檢測系統可以自動調節曝光時間。測試系統可根據薄

　　膜的透明度自動調節燈的亮度。同時照明燈的亮度也可以

　　通過軟件手動設置。

　　光源照明方式

　　根據樣品材料的不同， 可提供不同的燈光照明方式。對透明薄膜透射，對半透明（不透明）薄膜直接反射。

圖像分級處理

　　可根據用戶的需求設定檢測范圍

　　檢測結果的不同分析方法

　　軟件工具:

　　- 大小

　　- 形狀

　　- 圖表 (時間歷史, 尺寸分布, 柱狀圖等 )

　　薄膜掃描軟件賦予用戶自行設定檢測過程并表示出

　　檢測結果的手段

在線薄膜厚度測定儀技術參數

　　傳感器類型 激光傳感器與創新的CMOS檢測

　　光學系統 常規反應（漫反射）

　　測試中心距離 40mm(漫反射：30mm)

　　測試范圍 ±2，5mm(漫反射：±2，0mm)

　　光源 可見光半導體激光(波長：650nm，1mW max.，Class 2)

　　光束形狀 線形光束

　　光束直徑 2.000 x35μm

　　線性度 測量刻度的±1%

　　分辨率 0.4μm

　　溫度特性 0.02%測量刻度/℃

　　取樣周期少110μs，標準：500μs

在線光澤度定儀

　　測試角 45°

　　標準 astmd 2457

　　霧度測試范圍 0~2000GU(GU=Gloss units)

　　重復性 0~199.9GU:0.1GU,200~2000GU:0.1%

　　再現性 0~199.9GU:0.5GU,200~2000GU:0.4%

　　測試傳感器 適用于V形

　　光源 白光，LED

在線霧度定儀

　　測量原理 雙光束分光光度計

　　幾何 總傳輸擴散/8°

　　光譜儀 高分辨率的二極管陣列和256種元素的全息光柵

　　直徑 152mm

　　頻譜帶寬 400nm~700nm

　　波長分辨率 <3nm

　　波長精度 0.1nm