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上海艾時(shí)微技術(shù)開發(fā)有限公司

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多探頭幾何參數(shù)測試儀（厚度+Warp）

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：其他
  • 所在地：
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  • 樣本：
  • 更新時(shí)間：2024-07-02 10:03:01
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  • 經(jīng)營模式：其他
  • 商鋪產(chǎn)品：39條
  • 所在地區(qū)：
  • 注冊時(shí)間：2024-07-02
  • 最近登錄：2024-07-02
  • 聯(lián)系人：王先生
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產(chǎn)品簡介

MX20 Series是采用電容探頭測量晶圓厚度、翹曲度等幾何特性的多探頭手動/自動晶圓測量系統(tǒng)。

詳情介紹

MX 203-8-37（手動）

晶圓尺寸Wafer Size：150/200mm

厚度精度：±0.5 µm

分辨率：50nm

厚度范圍：400-1000µm


MX 204-8-37（半自動）

晶圓尺寸Wafer Size：150/200mm

厚度精度：±0.5 µm

分辨率：50nm

厚度范圍：400-900µm



MX 2012（半自動/自動）

晶圓尺寸Wafer Size：300mm

厚度精度：±0.5 µm

分辨率：50nm

厚度范圍：500-1000µm


MX 203/204-Q系列可測石英，鈮酸鋰，半絕緣碳化硅襯底等絕緣或/半絕緣（＞1E7 Ohm*cm）襯底。



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