真空腔體

類型

高溫型 室溫到400℃

高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃

腔體材質

304不銹鋼

腔體內尺寸

Φ88mmX59mm

腔體外尺寸

Φ112X65mm

腔體重量

約2.6KG

腔體上視窗尺寸

Φ47mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

可擴展KF16法蘭 KF25法蘭

腔體真空測量口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 硅膠薄膜液體注射口 氣管接頭可選

腔體電接口

5KV高壓電極，10KV高壓電極，4芯8A氣密封信號接口，8芯4A氣密封信號接口，

腔體正壓

≤0.1MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

制冷接口

無

3mm液氮管道

樣品臺

樣品臺材質

無氧銅（可選純銀熱臺）

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

樣品臺-視窗 距離

48mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

樣品臺測溫傳感器

PT100型鉑電阻

樣品臺溫度

高溫型 室溫到400℃

高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃

樣品臺測溫誤差

±0.5℃

樣品臺升溫速率

高溫50℃/min 值

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準PID溫控 +自整定 30段編程控溫

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號輸入類型

PT100鉑電阻（可選熱電阻 K S B型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱

輔助功能

溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG