技術參數 真空腔體 類型 高溫加熱型1000℃（高于600℃需真空環境） 腔體材質 6061鋁合金 腔體內尺寸 147mmX72mmX22mm 腔體外尺寸 170mmX95mmX37mm 腔體重量 約1.1KG 腔體上視窗尺寸 Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） 腔體抽氣口 KF16法蘭（其余接口規格可轉接） 腔體真空測量口 KF16法蘭（其余接口規格可轉接） 腔體進氣口 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 腔體冷卻方式 腔體水冷+上蓋水冷 腔體水冷接口 6mm快擰 或 6mm快插 腔體正壓 ≤0.05MPa 腔體真空度 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） 樣品臺 樣品臺材質 高溫絕緣陶瓷 樣品臺尺寸 26x26mm 樣品臺加熱方式 電阻加熱 樣品臺-視窗 距離 13mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） 樣品臺測溫傳感器 S型熱電偶 樣品臺溫度 室溫到1000℃（可選1200℃ 短時間加熱配置） 樣品臺隔熱材料 金屬屏蔽+陶瓷隔熱 樣品臺測溫誤差 ±1℃ 樣品臺升溫速率 高溫100℃/min 值 溫控儀 溫度顯示 7寸人機界面 溫控類型 標準PID溫控 +自整定 30段編程控溫 溫度分辨率 1℃ 溫控精度 ±1℃ 溫度信號輸入類型 S （可選PT100熱電阻 K B型熱電偶） 溫控輸出 直流線性電源加熱 輔助功能 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口 溫控器尺寸 32cmX170cmX380cm 溫控器重量 約5.6KG 探針 電信號接頭 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米 電學性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10Pa（冷態） 探針數量 4探針（可擴展5探針） 探針材質 鍍金鎢針 （其他材質可選） 探針尖 10μm 手動探針移動平臺 X軸移動行程 20mm ±10mm（需手動推動滑臺） X軸控制精度 ≥500μm R軸移動行程 120° ±60°（需手動旋轉探針桿） R軸控制精度 ≥500μm Z軸移動行程 2mm ±1mm Z軸控制精度 ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿） 水冷機 冷卻方式 壓縮制冷 冷卻溫度 室溫到5℃ 冷卻水流量 10L/min 冷卻介質 純水 冷卻水管接口 6mm快插 循環水箱容量 6L 水冷機尺寸 56cmX28cmX45cm 水冷機重量 約26KG 整機功率 600W
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