VP-5ZA 是一種 chao 薄型 垂直位移臺，非常適合于半導體晶片檢測、光子測試和封裝、微型組裝、計量和表面檢測系統。VP-5ZA 基于 VP-25X 線性位移臺中使用的已經通過行業驗證的技術，提供高可靠性運動，具有納米靈敏度、高響應性和wan 美 直線軌跡。

• 垂直運動的精度為 4.8 mm，具有 du 特 的傾斜平面概念

• chao 薄型 設計，采用簡化的 XYZ 配置

• 從任何方向均可以無障礙地進入移動平臺

• 利用集成線性編碼器可實現高度可重復且的運動

• ji 佳 的 60 nm zui 小 增量運動

• 即插即用（ESP 兼容性）

產品規格

特征

構建薄型 XYZ 平移臺疊堆

chao 薄 XYZ 系統由兩個VP-25XA 線性平移臺和一個 VP-5ZA 垂直平移臺組成。與傳統平移臺疊堆相比，該解決方案提供了一種 chao 薄 替代方案，可從任何方向輕松接近負載。

保持軸承上的 you 效 載荷

VP-5ZA 的提升可實現 you 效 載荷在軸承上定心，并靠近位置反饋。這樣可以避免可引起角變形的任何懸臂負載，并產生具有更高載重能力的更 jing 確 的運動。

VP-5ZA平移臺安裝在ILS中程行程線性平臺的頂部，可選的VP-BP底板。

gao 效 的傾斜平面設計

使用兩個楔形的 du 特 布置可產生純垂直運動，兩個楔形通過傾斜的循環滾珠軸承和兩對垂直安裝的雙列線性滾珠軸承滑塊移動通過彼此。

的平移臺兼容性

頂板上的螺紋孔圖案提供了與VP-25X 線性平移臺和其他 Newport 定位產品的兼容性。還提供用于晶片卡盤的標準 3 點安裝接口。要將 VP-5ZA 安裝到光學平臺或ILS 線性平移臺，請使用可選的VP-BP底座。可以使用平頭螺絲刀方便地進行手動垂直調整。

高轉矩直流電機

一種 gao 效、高轉矩直流電機，具有預裝長使用壽命的滾珠絲杠，可確保高速運動并縮短穩定時間。高分辨率線性刻度直接連接到移動軌道，xiao 除 了所有傳動系統引起的運動誤差。此外，節省空間的固定讀取頭設計避免了任何電纜移動。結果是一個堅固 nai 用 的平移臺，MTBF 為 20000 小時。

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