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Keithley2600B 系列 SourceMeter SMU 源表

2600B系列系統數字源表源測量單元（SMU）儀表是業界電流/電壓源與測量解決方案，它是利用吉時利第三代源測量單元（SMU）技術建造的。2600B 系列產品包括單通道和雙通道型號，集成了高精密電源、真正電流源、6位半數字多用表（DMM）、任意波形發生器、脈沖發生器以及電子負載等功能——這些功能都在一個高度集成的儀器機箱內。這是一個功能*的解決方案，大大提高了從臺式 I/V特性分析道高度自動化生產測試等各種應用中的測試效率。對于臺式應用，2600B系列數字源表內置基于Java的測試軟件，支持即插即用I/V測試，可以通過世界各地任何計算機瀏覽器運行。對于自動化系統應用，2600B系列數字源表的測試腳本處理器(TSP)，可以運行儀器內存儲的完整測試程序，實現業界吞吐量。在更大型的多通道應用中，吉時利的TSP-Link技術與TSP協同工作，實現了高度、SMU-per-pin并行測試。由于2600B系列數字源表源測量單元（SMU）儀表具有不需要主機的、*隔離的通道，因此，可以根據測試應用需求的進展，很容易進行重新配置和重新部署。

基于Java的即插即用I/V測試軟件

2600B系列數字源表內置基于Java測試軟件的源測量單元（SMU）儀表，支持真正的即插即用I/V特性分析，可以通過世界各地任何計算機瀏覽器運行。這個功能提高了研發、教育和QA/FA等各種應用的測試效率。只需通過附送的 LAN電纜，將2600B數字源表連接至互聯網，打開瀏覽器，輸入2600B的IP低至，即可開始測試。測試結果可以下載之電子數據表（如Excel），供進一步的分析和格式化，或者導入其他文檔或演示文稿。

采用TSP技術，提供的吞吐量，適合自動測試

對于需要高自動化和吞吐量級別的測試應用來說，2600B數字源表的TSP技術提供了業界性能。TSP技術遠遠超越傳統的測試命令序列……它*嵌入，然后，在源測量單元（SMU）儀器內部執行完整的測試程序。這實際上避免了所有耗時的總線-PC控制器之間的通信，因此，大幅縮短整個測試時間。

通過TSP-Link技術，實現SMU-Per-Pin并行測試

TSP-Link是通道擴展總線，支持多個2600B系列數字源表互連，成為一個單一、嚴格同步的多通道系統。2600B的 TSP-Link技術與其TSP技術協同工作，支持高速、SMU-per-pin并行測試。與大型自動測試設備系統等其他高速解決方案不同的是，2600B在無需主機成本或負擔情況下，實現了并行測試性能?；赥SP -Link技術的系統，還支持出眾的靈活性，可以根據測試需求的變化，迅速而容易地對系統進行重新配置。

2400型軟件仿真

2600B系列數字源表，與為吉時利2400 型數字源表源測量單元（SMU）儀表開發的測試代碼兼容。這使得基于2400型數字源表的測試系統更容易地升級至2600B系列，并使測試速度提高高達80%。此外，它還提供了從SCPI編程轉到吉時利TSP技術的過渡路徑，實施后，可以進一步縮短測試時間。
為了全面支持遺留的測試系統，在這個模式下，還*支持2400型源存儲清單測試序列。

第三代SMU設計，確保實現更快的測試時間

在早期2600系列儀器成熟的架構基礎上，2600B系列的源測量單元（SMU）儀表設計從幾個方面提高了測試速度。例如，早期的設計采用的是并聯電流量程調節結構，而2600 B系列的串聯量程調節結構，這種結構具有更快更平滑的量程變換過程和穩定速度更快的輸出。

2600B系列數字源表源測量單元（SMU）儀表設計支持對各種負載使用兩種操作模式。在普通模式下，源測量單元（SMU）儀表為大吞吐量提供高帶寬性能。在高電容模式下，源測量單元（SMU）儀表使用較慢的帶寬，為較高電容負載提供魯棒的性能。

簡化半導體元件測試、驗證與分析

可選配的ACS Basic版本軟件實現了客戶效率的大化，使客戶可以在開發、質量認證或故障分析中，對封裝器件進行特性分析。主要特性包括：

內容豐富、易于訪問的測試庫
腳本編輯器，實現現有測試的快速定制
數據工具，便于迅速比較測試結果
公式工具，便于分析俘獲的曲線，并提供多種數據函數。

欲了解有關ACS Basic版本軟件的更多信息，參見ACS Basic版本數據表。

*的軟件工具

除了基于Java的嵌入式即插即用軟件以及可選配的ACS Basic版本軟件，免費Test Script Builder軟件工具，可以幫助用戶創建、修改、調試和存儲TSP測試腳本。圖1給出2600B系列數字源表軟件工具的主要特性。

2600B系列產品3個型號的雙通道臺式數字源表，提供業界的價值和性能

如果想調試設計問題，首先必須知道存在問題。每個設計工程師都要用大量的時間查找電路中的問題，如果沒有合適的調試工具，這項任務耗時長、非常麻煩。

為了滿足那些不需要系統級自動化能力的應用需求，吉時利對2600B系列數字源表進行了擴展，推出3中的高性價比臺式型號產品——2604B、2614B和 2634B。這些型號產品性能分別與2602B、 2612B和2636B相似，但它們不包括TSP Link、接觸檢查以及數字I/O能力。

完整的自動化系統解決方案

吉時利S500綜合測試系統是基于儀器的、可高度配置的系統，適合器件、晶圓或晶圓盒的半導體特性分析。S500 綜合測試系統基于已被證明的2600系列系統數字源表源測量單元（SMU），提供創新的測量特性與系統靈活性，可以根據需求進行升級。其的測量能力，再加上*而靈活的自動特性分析套件(ACS)軟件，為客戶提供全面的應用范圍和特性，這是市場上競爭產品所不具備的。

技術指標適用的條件

本文介紹了2601B、2602B和2604B系統數字源表的技術指標和補充說明。這些技術指標是測試2601B、2602B和2604B依據的標準。在出廠時，2601B、2602B和2604B 符合這些技術指標。補充說明和典型值不在質保范圍內，適用于23°C，僅用作有效信息。

精確技術指標適用于普通模式和高電容模式。

這些源和測量精度在下列條件下適用于數字源表CHANNEL A（2601B、2602B和2604B）或數字源表CHANNEL B（2602B和2604B）終端。
1. 23°C ±5°C，相對濕度<70%
2. 經過2小時的預熱
3. 普通速度（1 NPLC）
4. 啟用A/D自動調零
5. 遠端檢測操作或適當的歸零局部操作
6. 校準周期=1年

源技術指標

電壓源技術指標

電壓編程精度1

量程	編程分辨率	精度（1年） 23°C ±5°C ±(% rdg. + 伏特數)	典型噪聲（峰-峰值） 0.1Hz–10Hz
100 mV	5 μV	0.02% + 250 μV	20 μV
1 V	50 μV	0.02% + 400 μV	50 μV
6 V	50 μV	0.02% + 1.8 mV	100 μV
40 V	500 μV	0.02% + 12 mV	500 μV

溫度系數 (0°–18°C & 28°–50°C)2：±(0.15 × 精度指標)/°C。
僅適用于普通模式，不適用于高電容模式。
大輸出功率和源/宿極限3：每通道大40.4W。±40.4V@ ±1.0A，±6.06V@ ±3.0A，四項限源或宿操作。
電壓調節：線：量程的 0.01%。負載：±(量程的0.01% + 100μV)。
噪聲：10Hz～20MHz：<20mV 峰-峰值（典型值），<3mV RMS（典型值），6V量程。
電流極限/柔度4: 單值設置雙極電流極限（柔度）。小值10nA。精度與電流源相同。
過沖：典型值<±(0.1% + 10mV)。步進值=量程的10%～90%，電阻負載，大電流極限/柔度。
保護偏移電壓：典型值 < 4mV。電流 < 10mA。

電流源技術指標

電流編程精度

量程	編程分辨率	精度（1年） 23°C ±5°C ±(% rdg. + 安培數)	典型噪聲（峰-峰值） 0.1Hz–10Hz
100 nA	2 pA	0.06% +100 pA	5 pA
1 µA	20 pA	0.03% +800 pA	25 pA
10 µA	200 pA	0.03% + 5 nA	60 pA
100 µA	2 nA	0.03% + 60 nA	3 nA
1 mA	20 nA	0.03% +300 nA	6 nA
10 mA	200 nA	0.03% + 6 µA	200 nA
100 mA	2 µA	0.03% + 30 µA	600 nA
1 A 5	20 µA	0.05% + 1.8mA	70 µA
3 A 5	20 µA	0.06% + 4 mA	150 µA
10 A 5, 6	200 µA	0.5% + 40 mA (典型值)

溫度系數 (0°–18°C & 28°–50°C)7：±(0.15 × 精度指標)/°C。
大輸出功率和源/宿極限8：每通道大40.4W。±1.01A @ ±40.0V，±3.03A @ ±6.0V，四項限源或宿操作。
電流調節：線：量程的0.01%。負載：±(量程的0.01% + 100 pA)。
電壓極限/柔度9: 單值設置雙極電壓極限（柔度）。小值10 mV。精度與電壓源相同。
過沖：典型值<±0.1%（步進值=量程的10%～90%，電阻負載；其他測試條件，參見 “電流源輸出穩定時間”部分）。

其它電源技術指標

瞬態響應時間：當負載出現10%到90%的階躍變化時輸出恢復到0.1%的時間 <70μs。
電壓源輸出穩定時間：在固定量程上處理電源設置命令后達到終值0.1%所需的時間。
100mV，1V量程：典型值<50μs
6V量程：典型值<100μs
40V量程10：典型值<150μs
電流源輸出穩定時間：在固定量程上處理電源設置命令后達到終值0.1%所需的時間。下列值適用于Iout × Rload = 1V，除非另行說明。
3A量程：典型值<80μs（電流小于2.5A，Rload >2Ω） 1A–10mA量程：典型值<80μs（Rload >6Ω）
1mA量程：典型值<100μs
100μA量程：典型值<150μs
10μA量程：典型值<500μs
1μA量程：典型值<2.5ms
100nA量程：典型值<25ms
直流浮動電壓：輸出電壓可以從機架地電平高上浮到±250VDC。
遠端檢測工作范圍11:
HI和SENSE HI之間的大電壓=3V
LO和SENSE LO之間的大電壓=3V

電壓輸出凈空：
40V量程：大輸出電壓=42V – 電源引線上的總壓降（每條電源引線大1Ω）
6V量程：大輸出電壓=8V – 電源引線上的總壓降（每條電源引線大1Ω）
過溫保護：內部檢測溫度過載時將設備置為待機模式。
電壓源量程變化過沖：<300mV + 較大量程的0.1%（典型值）。過沖輸入一個 100kΩ負載，20MHz帶寬。
電流源量程變化過沖：<較大量程的5% + 300mV/Rload （典型值，源穩定時間設置為SETTLE_SMOOTH_100NA）。其他測試條件，參見“電流源輸出穩定時間” 部分。

注

1. 對于源精度指標的HI引線壓降每伏要增加50μV。
2. 高電容模式精度僅適用于23°C±5°C。
3. 在30°C環境下，無論負載多大都是全電源工作。在30°C以上和/或電源宿工作模式下，可參考2600B系列參考手冊的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查詢其它功率下降信息。
4. 對于電源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相應的電流極限精度指標上增加極程的 0.06%。技術指標適用于支持的電源宿工作模式。
5. 在30°C環境下，無論負載多大都是全電源工作。在30°C以上和/或電源宿工作模式下，可參考2600B系列參考手冊的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查詢其它功率下降信息。
6. 10A量程僅適用于脈沖模式。
7. 高電容模式精度僅適用于23°C±5°C。
8. 在30°C環境下,無論負載多大都是全電源工作。在30°C以上和/或電源宿工作模式下，可參考2600B系列參考手冊的“工作界限（Operating Boundaries）”部分，查詢其它功率下降信息。
9. 對于電源宿工作模式（第II和第IV象限），要在相應的電壓源指標上增加柔度量程的10%和極限設定值的±0.02%。對于100mV量程，要額外增加60mV的不確定值。
10. 當在1A量程下測量時，要增加150μs。
11. 對于源精度指標的HI引線壓降每伏要增加50μV。

脈沖技術指標

區域	大電流極限	大脈寬12	大占空比13
1	1 A @ 40 V	DC,無限制	100%
1	3 A @ 6 V	DC,無限制	100%
2	1.5A @ 40 V	100ms	25%
3	5 A @ 35 V	4 ms	4%
4	10 A @ 20 V	1.8ms	1%

小可編程脈寬14,15：100μs。注：對于穩定電源在特定I/V輸出端和負載上的小脈寬可以大于100μs。
脈寬編程分辨率：1μs。
脈寬編程精度 15：±5μs。
脈寬抖動：2μs（典型值）。

訂購信息

型號	通道	大電流源/量程	大電壓源/量程	測量分辨率（電流/電壓）	電源
2601B	1	10A	40V	100fA / 100nV	200 W
2611B	1	10A	200V	100fA / 100nV	200 W
2604B	2	10A	40V	100fA / 100nV	200 W
2614B	2	10A	200V	100fA / 100nV	200 W
2602B	2	10A	40V	100fA / 100nV	200 W
2612B	2	10A	200V	100fA / 100nV	200 W
2635B	1	10A	200V	0.1fA / 100nV	200 W
2634B	2	10A	200V	1fA / 100nV	200 W
2636B	2	10A	200V	0.1fA / 100nV	200 W