Keithley 2650 系列高功率        

Keithley 2650 系列高功率 

2657A是一種高電壓、高功率、低電流源測量單元（SMU），具有迄今為止高的功率、 精度、速度、靈活性和易用性，能夠大大提高研發、生產測試和可靠性環境的測試效 率。2657A是專門針對高壓電子和功率半導體器件的特征分析與測試而設計的，例如 二極管、FET和IGBT，以及其它一些需要高電壓、快速響應和精確測量電壓和電流的元 件和材料。2657A是吉時利功率半導體特征分析和測試解決方案的2600A系列產品，具 有業界高的功率和的低電流性能。這些用戶可配置的解決方案采用了業界大的參數式特征分析軟件平臺，能夠隨著用戶應用的發展進行升級。

2657A與其它2600A系列數字源表一樣，具有高度靈活的四象限電壓和電流源/負載， 并配置了精密電壓和電流計。它可以用作：

• 半導體特征分析儀
• 電壓或電流波形發生器
• 電壓或電流脈沖發生器
• 支持電壓和電流讀回的精密電源
• 真電流源
• 數字萬用表（DCV、DCI、歐姆 和六位半分辨率電源）
• 精密電子負載

2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源

主要特性：

• 提供或吸收高達180W的直流或脈沖電 源（±3000V@20mA，±1500V@120mA）
• 1fA低電流分辨率
• 用于高精度和高速瞬態捕獲的雙22位 精度ADC和每點雙18位1μs數字轉換器
• 易于與其它2600A數字源表進行系統集 成的全TSP®兼容能力
• 單臺儀器內集成了精密電源、電流 源、DMM、任意波形發生器、電壓或電 流脈沖發生器、電子18位負載和觸發 控制器

• 內含TSP® Express特征分析軟 件、LabVIEW ®驅動和吉時利的Test Script Builder軟件開發環

典型應用：

• 功率半導體器件特征分析與測試
• GaN、SiC和其它一些復合材料與器件 的特征分析
• 高達3kV的擊穿與漏流測試
• 亞毫秒瞬態特征分析

兩種測量模式：數字式或積分式 利用2657A的兩種測量模式，可以對器件的瞬態和穩態特性進行精確的特征分析，包括快 速改變熱效應。每種模式是由其獨立的模數（A/D）轉換器決定的。

數字式測量模式能夠實現高達1μs的采樣速度。利用其雙18位數字轉換器能夠同時捕獲 電壓和電流瞬態。在積分式測量模式下，利用其雙22位積分式模數轉換器能夠實現更精 確的電壓與電流測量。每種測量模式都使用兩個A/D轉換器，一個用于電流，另一個用于 電壓，兩個轉換器同時工作可以實現精確的電源讀回，且不影響測試產能。

雙高速A/D轉換器能夠實現快每點1μs的采樣速度，支持電壓和電流的全同時特征分析。

擴展功能

通過TSP-Link®技術，2657A能夠與其它2600A系列儀器連接在一起，構成更大的具有高 32個節點的集成式系統。內置的500ns觸發控制器能夠確保精確定時與緊密通道同步功 能。利用*隔離且獨立的數字源表通道可以進行真正的每pin腳SMU測試。

高功率器件測試夾具

8010高功率器件測試夾具能夠為高達3000V或100A下帶封裝的高功率器件的測試提供安全和 方便的連接。8010提供的連接支持一個高壓數字源表（2657A）、一個或兩個高電流數字源表 （2651A）、三個低功率數字源表（其它2600A系列或4200-SCS SMU）。利用這一功能，就可以 安全而準確地對雙端（二極管）、三端（晶體管）甚至四端或五端器件進行特征分析。8010具 有全互鎖功能多可支持六臺數字源表。8010集成了保護電路，能夠保護低壓數字源表免受 2657A輸出高壓造成的器件故障。8010內含高電流（100A）和高電壓（3000V）測試測試接口。還 有可選的各種備用測試接口，包括TO-247、TO-220、軸心線，以及可以構建自定義接口的一個 空接口模塊。除了標準的香蕉跳線，8010還具有背板指示器和熱探針端口，可簡化系統集成。

2600A系列儀器的標準功能

2每臺2657A都具有其它2600A系列數字源 表所具有的特性和功能：
• 使用靈活，可用作臺式I-V特征 分析工具，也可以作為多通道I-V 測試系統的組成模塊；
• TSP Express軟件，無需編程或安 裝其它軟件即可快速而方便地執 行常用的I-V測試。
• 用于半導體元件特征分析的ACS Basic Edition軟件（可選）。ACS Basic Edition現在提供了“Trace” 模式，可產生一套特征曲線。
• 吉時利的Test Script Processor (TSP)技術支持創建并運行自定義 的用戶測試腳本，用于實現高速自 動化測試，以及創建使測試儀能夠 在沒有PC直接控制的情況下進行 異步操作的程序序列。
• 當系統中多臺2600A系列儀器 連接在一起時，具有并行測試 執行和精確定時功能。 • 兼容LXI Class C。
• 14位數字I/O線，用于直接連接探針 臺、元件機械手或其它自動化工具。
• USB端口，用于通過USB存儲器保存額 外的數據和測試程序。

2657A主要技術指標1

電流精度指標4

1.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.15 × 精度指標) °C。

2. 對于NPLC設置<1因增加了誤差項而降低了精度指標。對于阻性負載使用下表適當增加量程項的百分比。

3.18位ADC。間隔1μs的1000個樣本均值。

4.對于0°到18°C以及28°到50°C的溫度，精度下降 ±(0.35 × 精度指標) °C

其它特性

典型電壓源噪聲：量程的0.005%。
典型電流源噪聲：量程的0.08%。
典型電壓源設置：<1ms到200V，<7ms到3000V。
典型電流源設置：<5ms到120MA，<200ms到1µA。
相關指標如有改變恕不另行通知。

觸發與同步指標

觸發：TRIGGER IN到TRIGGER OUT：0.5µs，典型值。
同步：單節點或多節點同步源變化：<0.5μs，典型值。

編程

TEST SCRIPT BUILDER: 用于編輯、運行和管理TSP腳本的集成式開發環境。
TSP EXPRESS （內嵌的）：無需編程或安裝其它軟件即可使用戶快速而方便地執行常見I-V測試的工具。
軟件接口：TSP EXPRESS（內嵌的）、DIRECT GPIB/VISA、支持VB的讀/寫、VC/C++、 VC#、LABVIEW、TESTPOINT、LABWINDOWS/CVI等。

系統擴展

支持TSP功能的儀器通過TSP-Link擴展接口可以相互觸發和通信。如下圖所示：

2657A能夠提供或吸收高達3000V@20mA或1500V@120mA的電源

一般性指標

USB：USB 2.1主控制器，支持外部數據存儲。
接觸檢查：± 50Ω
PC接口：IEEE-488.1和.2；LXI CLASS C以太網；RS-232。
數字I/O接口：輸入/輸出腳：14個漏極開路I/O位。大5.25V。
電源：100V到250V交流，50HZ–60HZ（自動檢測），大功率550VA。
冷卻：強迫風冷。側面和頂部吸氣，后部排氣。
EMC：符合歐盟EMC指令。
安全性：ETL列出（待確認）。符合歐盟低壓指令。
質保期：1年。
尺寸：高89mm × 寬435mm × 深549mm（3.5in × 17.1in × 21.6in）。測試臺配置（帶手柄和腿）：高104mm × 寬483mm × 深620mm（4.1in × 19in × 24.4in）。
重量：9.98KG（22lbs）。
使用環境：僅適合室內使用。
校準周期：一年。

供應附件

7709-308A

數字I/O與互鎖接頭

CA-180-3A

TSP-Link/以太網線

文檔CD光盤

軟件工具與驅動程序CD光盤

可用附件

2657A-LIM-3

低壓互連模塊

2657A-PM-200

200V保護模塊

4299-6

固定的機架安裝套件

SHV-CA-553-x

轉SHV線纜的高壓三軸線（1、2、3m）

HV-CA-554-x

轉無端接線的高壓三軸線

HV- CA-571-3

轉無端接線的高壓三軸線

HV- CS-1613

高壓三軸線饋通連接器

8010提供的附件

CA-558-2

適用于26xxA的25針D-sub互鎖線

CA-560-x

4mm黑紅香蕉線，8in

CA-562-x 6mm黑紅香蕉線，10in

CA-563

BNC轉香蕉線，9.5in

CA-568-120

安全接地線

8010-DTB

帶TO-247接口的器件測試

8010可選的附件

8010-CTB

可定制測試板

8010-DTB-220

帶TO-220接口的器件測試板（1.5kV）

2657A能夠與其它2600A系列儀器和4200-SCS SMU組 合使用，支持多端測試功能。利用2657A-PM-200保護 模塊和2657A-LIM-3低互連模塊，很容易實現多臺儀 器與探針臺的安全連接（不需要連接到8010高功率 器件測試夾具）。