真空電動促動器,Motorized Actuator是可以用于真空環境的真空電動驅動器和真空促動器,結構緊湊，靈敏度高。
真空電動促動器Motorized Actuator具有真空Sub-D接口,9或15針連接器,Sub-D連接器是玻璃制成，里面填充的是聚合物，外殼是不銹鋼，適用于高度真空（10^-6毫巴）和溫度高達110°C的環境。
高度真空Sub-D連接器的規格：
真空：10-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：- 55°C至110°C
針材質：鍍金銅合金
也提供其他尺寸大小的連接器和真空密封裝置。
產品規格
移動距離 13mm
分辨率
在全步進模式的分辨率 1.25µm
在1 / 8步進模式的分辨率 0.156µm
絲杠螺距 0.25 mm
zui大速度 2.5 mm/s
標值力 4 N
電機 VSS19
真空兼容電纜 集成，2m
連接器 HDB15(M)
控制器 8SMC4-USB 8SMC3-RS232
限位開關 2個，光耦開關
重量 0.12 kg
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