電動(dòng)直線電機(jī)定位臺(tái)是直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)定位臺(tái),專門設(shè)計(jì)用于高速運(yùn)動(dòng)的電動(dòng)定位臺(tái),采用了滾珠絲杠,使運(yùn)動(dòng)快速平滑,分辨率有1 µm和0.1 µm。采用低剖面設(shè)計(jì),具有高剛度和熱穩(wěn)定性 。有手動(dòng)版本和真空類型。
電動(dòng)直線電機(jī)定位臺(tái)8MT167-25BS1與8MT167-25LS不同,是專門設(shè)計(jì)用于高速運(yùn)動(dòng)的。其采用了滾珠絲杠,使運(yùn)動(dòng)快速平滑。定位臺(tái)也可以與顯微鏡組成XY軸裝置使用。如圖所示,頂板有中心有一可移除插入,插入大小是2英寸,基板上有51×76mm大小的垂直插入槽。直線電機(jī)定位臺(tái)上的運(yùn)動(dòng)具有高分辨率和高穩(wěn)定性。
直線電機(jī)定位臺(tái)8MT167-25BS1 / -25LS分辨率有1 µm和0.1 µm。采用低剖面設(shè)計(jì),具有高剛度和熱穩(wěn)定性 。有手動(dòng)版本和真空版本模型。
8MT167-25BS1 / 8MT167-25LS有插入平臺(tái)7T167-25.07-01。 8MT167-25BS1 / 8MT167-25LS有插入平臺(tái)7T167-25.07-01。
有“反射鏡”版本: 8MT167M-25BS1和 8MT167M-25LS
有安裝了固體平臺(tái)的版本: 8MT167S-25BS1和 8MT167S-25LS

2AB167-25角支架將“水平”平移臺(tái)變位成“垂直”方向,裝配成8MT167-25 XYZ三軸平移系統(tǒng)。
| 模型 | 8MT167-25BS1 8MT167S-25BS1 | 8MT167M-25BS1 | 8MT167-25LS 8MT167S-25LS | 8MT167M-25LS |
| 移動(dòng)距離, mm | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 全步進(jìn)分辨率, µm | 5 | 5 | 1.25 | 1.25 |
| 1/8 步分辨率, µm | 0.625 | 0.625 | 0.156 | 0.156 |
| 滾珠絲杠螺距, mm | 1 | 1 | - | - |
| 絲杠螺距, mm | - | - | 0.25 | 0.25 |
| 重復(fù)性, µm | 1.5 | 1.5 | 1 | 1 |
| 速度, mm/s | 25 | 25 | 6 | 6 |
| 載重 | ||||
| 水平, kg | 30 | 30 | 30 | 30 |
| 垂直, kg | 7 | 7 | 7 | 7 |
| 機(jī)械式終端限位開關(guān) | 2, 推動(dòng) "關(guān)閉" | |||
| 電纜 | 電纜長度1.6 m | |||
| 電動(dòng)機(jī)接頭 | HDB15(M) (接線圖) | |||
| 步進(jìn)電動(dòng)機(jī) | 28 | |||
| 重量 | 0.8 kg | 0.8 kg | 0.8 kg | 0.8 kg |
| 控制器 | 8SMC4-USB 8SMC3-RS232 | |||


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