YA樣品臺
主要用于硅和藍寶石等單晶的大型晶體柱面及片的檢測,增加了承重軌道,可測重1-30公斤,直徑2-8英寸棒。同時加有氣泵,可測2-8英寸片狀樣品。
YB樣品臺
主要用于硅及藍寶石等單晶的圓柱形晶體的端面檢測,增加了承重軌道。樣品臺采用V型槽設計,V型槽的寬度可自動調整,便于不同規格大型圓柱形晶體在樣品臺上360°旋轉。人性化的設計,使設備更合理,可測重1-30公斤、直徑2-8英寸、長350mm棒材端面,同時加有氣泵,可測2-8英寸片狀樣品。
YD樣品臺
主要用于硅及藍寶石等單晶片的外圓參考面的檢測,吸氣盤上接收X射線的位置采用開放式設計,克服了吸氣盤遮擋X射線和定位不準的問題,滿足不同規格晶片參考邊的檢測。樣品臺的吸氣泵可把2-8英寸的晶片吸住,使檢測更加準確。
Ye樣品臺
主要用于硅和藍寶石等晶片的多點測量,晶片可在樣品臺上手動旋轉,如0°、90°、180°、270°等,可滿足客戶對晶片的特殊測量需求。
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