產品名稱

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀

產品型號

GSL-1800X-ZF4

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設備配有自循環冷卻水機（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、工作臺：落地式，占地面積2m²以上。

4、通風裝置：需要

主要特點

1、真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

2、采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔體設有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，提高效率）、1個CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規）、6個CF35法蘭（1個安裝電離規，1個安裝2芯電極，1個安裝膜厚儀）
3個備用。

4、在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。

5、樣品臺安裝在腔體的頂部。

6、腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀，膜厚測量分辨率（鋁）為0.1Å。

7、可使用循環水冷機。

技術參數

1、輸入：單相AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵）

2、蒸發輸出：電壓AC 0-8V連續可調，極限蒸發電流200A，極限蒸發功率<1.6KW

3、真空腔：Ø300mm（內徑）×400mm，不銹鋼，內壁經電拋光處理

4、觀察窗：Ø100mm，采用密封圈密封

5、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s

6、真空度：8.0x10^-4Pa

7、極限真空8.0x10^-5Pa

8、漏率：6.7×10^-8Pa·L/S

9、樣品臺：φ120

10、蒸發舟與樣品臺間距：150-210mm

11、冷卻水需量：15L/min

產品規格

尺寸：900mm×1100mm×1800mm；重量：230kg