介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類 內(nèi)置了98種氣體，請參考背面

一臺設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量 程 從0 - SCCM 到 0 - 6000 SLPM（）

測量范圍 ～99%

顯示流量 128 % 滿量程

顯 示 屏 帶按鍵，標(biāo)準(zhǔn)為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式 同時顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精 度 ± （ % 讀數(shù) + % 滿量程）見上段精度升級部分

± （ % 讀數(shù) + % 滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度 流量精度之外增加± %額外誤差

重 復(fù) 性 ± （ %讀數(shù)+ %滿量程）

質(zhì)量流量溫度漂移 %滿量程當(dāng)溫度從25 ℃起每變化1 ℃

質(zhì)量流量壓力漂移 ± （ % 讀數(shù) + % 滿量程）當(dāng)壓力從標(biāo)定壓力起，每變化1bar