ALICAT 氣體質量流量計-抗腐蝕型 20S系列

量程 SCCM - 6000 SLPM，優于1 %的精度，測量范圍廣， 優于10 ms 響應時間

美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。

可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

應用及案例

● 大學/研究所

● 泄漏檢測

● 環境監測

● 真空行業及鍍膜

● 工業爐窯

● 半 導 體

● 汽車制造

● 計量校準

● 過程工藝氣體測量