設備用途 ：

　　適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產前的試驗工作。OPV系列真空蒸發鍍膜與手套箱聯合系統的用戶群體為科研院所及實驗室，將真空蒸發系統工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域

　　設備組成：

　　該設備主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。

　　技術要求：

　　1、真空度：鍍膜室的極限真空≤6×10-4Pa；

　　2、系統漏率≤1×10-7PaL/s。

　　3、有機源蒸發源4個，容積5ml，2臺蒸發電源，可測溫控溫，加熱溫度400℃， 功率；(選配)

　　4、樣品架可放置大小為Φ120mm的樣品，載玻片；

　　5、樣品架可旋轉，旋轉速度為：0～30轉/分；

　　6、樣品在鍍膜過程中，帶有烘烤加熱功能，烘烤加熱溫度為：室溫～180℃， 測溫控溫。

　　7、無機蒸發源4套、容積5ml，2臺蒸發電源，加熱電流300A，功率；