簡(jiǎn)介

QC3高分辨率X射線衍射儀是Jordan Valley公司推出的半導(dǎo)體生產(chǎn)質(zhì)量控制設(shè)備的新機(jī)型，專注于化合物半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的生產(chǎn)監(jiān)控需求。Jordan Valley公司質(zhì)量控制型

(QC)設(shè)備已經(jīng)有三十余年的歷史，并在被應(yīng)用于Si, GaAs, InP, GaN,及其他常見(jiàn)的半導(dǎo)體襯底或外延層材料的測(cè)試和生產(chǎn)控制。QC3實(shí)現(xiàn)了高分辨率X射線衍射測(cè)試技術(shù)的部分或自動(dòng)化，并可根據(jù)客戶產(chǎn)品的具體需求，度身設(shè)計(jì)的自動(dòng)化控制程序和質(zhì)量控制參數(shù)。

QC3可依需要配置自動(dòng)化機(jī)械手臂，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體晶圓片的自動(dòng)化裝載，在生產(chǎn)線上執(zhí)行測(cè)試流程的全自動(dòng)化。QC3也可以提供一次性同時(shí)放置多個(gè)小尺寸晶圓片。樣品盤上可以同時(shí)放置20片2英寸晶圓片，或者5片4英寸晶圓片。控制軟件可以將自動(dòng)化測(cè)試菜單程序添加給同一批次的不同晶圓片，并依次針對(duì)樣品盤上所有的晶圓片執(zhí)行測(cè)試菜單，有效減少人工操作及干預(yù)，提高測(cè)試效率。

產(chǎn)品特色及優(yōu)勢(shì)

? 專注于半導(dǎo)體材料的高分辨率X射線衍射，未因兼顧其他X射線測(cè)試技術(shù)而降低高分辨率 的要求。

? 與前期質(zhì)量控制型設(shè)備相比，提高了X射線強(qiáng)度。在相同測(cè)試速度的情況下，可提高測(cè)試精度。在相同測(cè)試精度的條件下，將提高測(cè)試速度。

? 降低了設(shè)備及附件的購(gòu)置和維護(hù)成本。

? 更低的運(yùn)行成本。

? XRGProtect™可以有效延長(zhǎng)X射線光管的使用壽命。

? 環(huán)保的綠色工作模式，待機(jī)時(shí)有效降。

? 可依據(jù)客戶需求，選擇性地配置自動(dòng)化裝卸晶圓片用機(jī)械手臂，具備多片批次式同時(shí)測(cè)試的功能，提高生產(chǎn)測(cè)試效率。

? 操作簡(jiǎn)便，無(wú)需人才操作。

? 自動(dòng)化準(zhǔn)直、測(cè)量晶圓片，數(shù)據(jù)分析自動(dòng)化

? 工的RADS衍射數(shù)據(jù)自動(dòng)化擬合軟件已經(jīng)被客戶使用并獲得肯定。

? 測(cè)試和分析的數(shù)據(jù)結(jié)果可以進(jìn)行自動(dòng)化遠(yuǎn)程報(bào)告。

? 可依客戶需要的格式自動(dòng)創(chuàng)建測(cè)試數(shù)據(jù)報(bào)告。