雙束聚焦離子束掃描電鏡 LYRA

基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和聚焦離子束鏡筒，LYRA3 FIB-SEM是一款SEM與FIB良好結(jié)合的一體化系統(tǒng)，能夠滿足高要求客戶的需要。

新一代場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡（LYRA3）給用戶帶來了新的技術(shù)優(yōu)點(diǎn)，包括改進(jìn)的電子設(shè)備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，都使LYRA3保持著很高的。

LYRA3系列的設(shè)計(jì)適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于軟件，TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的*工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。

現(xiàn)代電子光路

· 的大視野光路設(shè)計(jì)提供各種工作與顯示模式

· 以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器"

· 結(jié)合了*的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束

· 全自動(dòng)鏡筒設(shè)置與對(duì)中

· 成像速度很快

· 3維電子束技術(shù)提供實(shí)時(shí)立體圖像

· 可選的電子束遮沒裝置提供了電子束光刻技術(shù)

離子光路

· CANION FIB設(shè)備提供既快又的切片與TEM樣品制備技術(shù)

· 可選的高分辨率COBRA-FIB離子束設(shè)備在成像與銑削過程中依然保持很高的分辨率

聚焦離子束裝置

· 裝有兩套差異泵的離子束裝置使離子散射效應(yīng)較更低

· 馬達(dá)驅(qū)動(dòng)高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器

· 電子束遮沒裝置與法拉第筒作為標(biāo)配

· 同時(shí)可以進(jìn)行離子刻蝕/沉積與SEM成像

· FIB的操作軟件集成在SEM軟件

· 軟件工具欄包括了基本形狀與可編程的參數(shù)

· 微/納米加工

· 離子束光刻

維修簡(jiǎn)單

只需要很短的停機(jī)檢修時(shí)間，就能使得電鏡長(zhǎng)期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個(gè)細(xì)節(jié)設(shè)計(jì)得非常仔細(xì)，使得儀器的效率化，操作簡(jiǎn)化。

自動(dòng)程序

自動(dòng)設(shè)置和許多其他的自動(dòng)化操作是設(shè)備的特點(diǎn)之一。除此之外，電鏡還有樣品臺(tái)自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)分析 程序，能明顯減少操作員的操作時(shí)間。通過內(nèi)置腳本語言 （Python）可進(jìn)入操作軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺(tái)控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動(dòng)操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

· 多用戶和多語言操作界面

· 圖像管理與報(bào)告生成

· 內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷

· 網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷

· 模塊化的軟件結(jié)構(gòu)

· 標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括：自動(dòng)離子束控制、電子束寫入基本版、同時(shí)的FIB/SEM成像、預(yù)定義FIB工作模式等軟件工具

· 可選軟件包括了：顆粒度分析標(biāo)準(zhǔn)版/版、3維表面重建等模塊

· 電子束寫入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的*工具

· 可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時(shí)的全自動(dòng)連續(xù)SEM圖像，三維重構(gòu)與三維可視化

LYRA3 GM

LYRA 3 GM是一款由計(jì)算機(jī)控制的聚焦離子束場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)， 有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等

LYRA3 XM

LYRA3 XM是一款由計(jì)算機(jī)控制的聚焦離子束場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng)(GIS)，有高真空和低真空兩種模式，其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟、用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點(diǎn)。基于Windows™平臺(tái)的操作軟件提供了簡(jiǎn)易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對(duì)圖像進(jìn)行管理、處理和測(cè)量，實(shí)現(xiàn)了電鏡的自動(dòng)設(shè)置和許多其它自動(dòng)操作。

北京亞科晨旭科技有限公司

亞科電子成立于 1998 年，成立以來一直專注于半導(dǎo)體工藝設(shè)備、微納米加工平臺(tái)等領(lǐng)域的設(shè)備集成供應(yīng)和技術(shù)服務(wù)。MEMS、3D 封裝、化合物半導(dǎo)體、微波器件、功率器件等眾多領(lǐng)域。目前亞科電子已經(jīng)與眾多微電子、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的國(guó)際企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系；EVG（光刻、鍵合）、Bruker（微納檢測(cè)）、TESCAN（掃描電鏡） 是其中幾家重要的合作伙伴。用戶已遍及所有國(guó)內(nèi)集團(tuán)、科研院所和研發(fā)制造企業(yè)等領(lǐng)域，在業(yè)內(nèi)擁有良好的。我公司已成為、中國(guó)航天、中國(guó)航空、中國(guó)船舶、中國(guó)兵器集團(tuán)、和高校等所屬的眾多科研單位及工廠的重要的合作伙伴。