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產(chǎn)品概述
構成：由真空腔體及等射頻離子電源、抽真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。
工作原理：在真空狀態(tài)下，等離子作用在控制和定性方法下能夠電離氣體,利用真空泵將工作室進行抽真空達到 的真空度，再在等離子電源作用下，將氣體進行電離，形成等離子體（物質(zhì)第四態(tài)）。等離子電源提供能量使氣體電離成等離子態(tài)。等離子態(tài)顯著的特點是高均勻性輝光放電，根據(jù)不同氣體發(fā)出從藍色到深紫色的色彩可見光，材料處理溫度接近室溫。這些高度活躍微粒子和待處理的固體材料表面發(fā)生作用，得到表面親水性、拒水性、低摩擦、高度清潔、激活、刻蝕等各種表面改性。

技術參數(shù)
1.內(nèi)腔容積約：150*150*200mm
2.極限真空度：1Pa(配套鮑斯股份旋片真空泵加大型號BSV-10)
3.進口皮拉規(guī)：品牌：INFICONC公司；PSG500型號
4.射頻電源，功率0～150 W手動可調(diào)可控。品牌：凱美射頻 射頻頻率：兆赫茲
5.充氣系統(tǒng)包括1路氣體質(zhì)量流量計，以控制清洗氣體的進氣流量，方便氣體導入。品牌：北京匯博隆
6.真空系統(tǒng) 型號：加大型號BSV-10;抽氣速度≥升/秒,極限真空，
工作電壓220伏。
+觸摸屏手自動控制系統(tǒng)。一體式機柜，噴塑處理
8.清洗區(qū)域尺寸：120*120*150mm

優(yōu)點：環(huán)保、廣適性、溫度低、功能強、低成本、全過程可控工藝