氦質譜檢漏儀

UL1000氦檢漏儀

    INFICON（瑞士英福康） UL1000移動式氦檢漏儀專門設計用于滿足苛刻的工業檢漏要求：具有耐用性強、測試靈活度好、靈敏度高、啟動快，響應準確迅速，系統安可靠等特點。

    UL1000符合微電子工業生產的要求。從堅固的金屬外殼到方便移動的滾輪，至I·CAL, 用于解除在10-11至10-12高靈敏漏率范圍中長平衡時間的運算法則，都無不顯示了其的*性。

    系統軟件包含帶有故障查找指令的自診斷程序。并可調用防止氦氣或工藝氣體污染的保護功能。UL1000的通風系統不會干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并解除氦污染。

    UL1000氦質譜檢漏儀具有可轉動的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測量結果于狀態信息，這樣可遠距離方便地觀察讀值。通過更新軟件，新的固件可通過標準接口在數分鐘內完成安裝。