RGA殘余氣體分析儀（四極質譜儀）
Transpector 2 的特點 |
-100，200，和300amu系統帶法拉第杯或電子倍增器/法拉第杯的組合。 |
·改進的氫檢測。 |
·與原始的Transpector相比訊噪比提高10倍 |
·快速掃描低值訊號 |
·個量級的電子學動態量程 |
·用于單傳感器和多傳感器系統的軟件選件 |
·分壓測量從1×10-4乇至2×10-14乇 |
Transpector 2 是基于四極場的智能傳感器，全部傳感器電子驅動加上微處理器安裝在一個附在傳感器上的小型、輕便的密閉匣內。由于它是智能的傳感器，具有相當的靈活性，您可以使用當前的計算機或從INFICON選購PC和軟件包。兩種通訊鏈接，RS232用于單傳感器，RS485用于多傳感器配置，將Transpector2 連接控制計算機。簡單的指令協議支配全部Transpector功能。 |
RGA殘余氣體分析儀（四極質譜儀）
RGA 應用（主要用途）
檢漏
真空設備本底狀況鑒定
在線工藝氣體監測分析
檢漏
- 真空系統泄漏（內漏,外漏）
- 可設置報警點,實現報警功能
- 與氦質譜檢漏儀的區別:
| RGA | 氦質譜檢漏儀 |
示漏氣體 | 氦氣或其他任何示漏氣體 | 氦氣 |
可檢漏類型 | 內漏,外漏 | 外漏 |
顯示 | TWare32軟件檢漏模式/監控模式 （離子流/分壓強） | 顯示面板（漏率） |
真空系統本底狀態鑒定
在系統達到極限真空時測定殘余氣體的種類和量值
真空系統污染監測和控制
清洗介質殘留,返油（碳氫化合物）,表面放氣（空氣, H2O, O2, CO, CO2）
通過軟件中的標準氣體庫,可確定氣體成分.
真空工藝監控
- 在線監控:實時反映工藝異常或偏差
- 數據按時間自動存儲（SOD文件）以便
日后追溯進行工藝分析
- 繼電器輸出可用于控制閥門
- 模擬輸出可連線PLC
鍍膜工藝研究開發
各種工藝氣體的相對比例對工藝/產品的影響
RGA的選用 - 為您的鍍膜機選擇合適的RGA
小可檢分壓強（MDPP）
法拉第杯（FC）: 3 x 10-13 Torr
電子倍增器（EM）+法拉第杯（FC）:10-14~10-15 Torr
質量數（AMU）
取決于需要探測的氣體
100AMU傳感器 探測范圍: 1-100AMU
200AMU傳感器 探測范圍: 1-200AMU
300AMU傳感器 探測范圍: 1-300AMU
絕大多數工業應用僅需100AMU傳感器
工作壓強范圍
- 標準RGA: < 5 x 10-4 Torr
- 高壓強型XPR3: < 1 x 10-2 Torr
- 若需在更高壓強下工作, 須使用取樣系統（IPC400）
所有評論僅代表網友意見，與本站立場無關。