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MarSurf LD 130 Aspheric / LD 260 非球面
高精度 2D / 3D 光學(xué)元件測(cè)量站
現(xiàn)在越來(lái)越多的光學(xué)系統(tǒng)都要求一個(gè)緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，例如：變焦鏡頭，DVD光頭以及手機(jī)照相機(jī)鏡頭等。為了達(dá)到這個(gè)目的，在傳統(tǒng)球面鏡的基礎(chǔ)上，光學(xué)行業(yè)在向生產(chǎn)非球面鏡頭轉(zhuǎn)變。
在Mahr的輪廓測(cè)量單元中，評(píng)價(jià)程序可以分析非球面表面形貌，實(shí)際測(cè)得的數(shù)據(jù)將在軟件中與已經(jīng)定義好的名義數(shù)據(jù)進(jìn)行比較與計(jì)算，進(jìn)而得到我們所需要的差值結(jié)果。
差值結(jié)果可以各種機(jī)器可讀的格式進(jìn)行導(dǎo)出，方便生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行工藝調(diào)整(閉環(huán)控制)
相比較激光干涉儀而言，測(cè)針式的測(cè)量可以將2D和3D的測(cè)量都應(yīng)用在較粗糙的光學(xué)表面上，這樣就可以在生產(chǎn)的初期實(shí)現(xiàn)測(cè)量與補(bǔ)正(研磨)
測(cè)量原理
對(duì)3D測(cè)量來(lái)講，首先是測(cè)量?jī)蓷l成90°的過(guò)非球面頂點(diǎn)的直線。再來(lái)就是一系列由旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)C-axis完成的同心圓曲線。這些測(cè)量出的數(shù)據(jù)點(diǎn)將被用來(lái)生成整個(gè)形貌。
測(cè)臂可以自動(dòng)定位，例如抬升和接觸，甚至非連續(xù)性的表面比如中心有孔的表面都可以測(cè)量。
機(jī)器自帶減震裝置和外罩，用來(lái)保護(hù)被測(cè)物體遠(yuǎn)離環(huán)境影響，例如震動(dòng)與雜質(zhì)。
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