關(guān)鍵詞：Workshop of Photonics飛秒激光加工系統(tǒng)，飛秒微納加工系統(tǒng)，飛秒冷加工系統(tǒng)，立陶宛WOP飛秒激光微加工系統(tǒng) FemtoLAB實(shí)驗(yàn)室飛秒激光加工系統(tǒng) FemtoFAB工業(yè)級(jí)飛秒激光加工系統(tǒng) 實(shí)驗(yàn)室級(jí)/工業(yè)級(jí)

立陶宛WOP公司（Workshop of Photonics）自2003年以來，在超短激光微加工領(lǐng)域已經(jīng)開展了的研究，在激光微加工工作站的開發(fā)和飛秒激光工藝進(jìn)行了充分的積累和工藝優(yōu)化，開發(fā)除了超短激光微加工的儀器和解決方案。

WOP公司在微加工領(lǐng)域的核心能力：超短激光微加工可行性研究；定制的激光微加工工作站和光模塊開發(fā)；激光系統(tǒng)自動(dòng)化軟件；批量生產(chǎn)的激光微加工領(lǐng)域。

WOP的飛秒加工系統(tǒng)產(chǎn)品分為實(shí)驗(yàn)室用飛秒激光加工系統(tǒng)FemtoLAB和工業(yè)用飛秒激光加工系統(tǒng)FemtoFAB，下面是對(duì)這兩個(gè)產(chǎn)品的介紹。

WOP實(shí)驗(yàn)室用飛秒激光加工系統(tǒng)FemtoLAB

（Laser Micromachining System For Laboratory；Micromachining System For Laboratory；FemtoLAB,Workshop of photonics）

FemtoLAB這套飛秒激光微加工系統(tǒng)是為科學(xué)實(shí)驗(yàn)研究開發(fā)的，其配置到納米級(jí)，包含有線性分辨率的定位平臺(tái)、掃描振鏡和通用微加工軟件SCA，是一套應(yīng)用在光學(xué)平臺(tái)上的飛秒激光加工實(shí)驗(yàn)室。

WOP實(shí)驗(yàn)室用激光微加工系統(tǒng)可根據(jù)客戶的實(shí)質(zhì)需求而定制。WOP*的技術(shù)能力和豐富的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)使FemtoLAB系統(tǒng)優(yōu)化，新用戶更易上手，提升了實(shí)驗(yàn)效率，節(jié)省了使用者寶貴的實(shí)驗(yàn)時(shí)間。

FemtoLAB飛秒加工系統(tǒng)軟件控制功能

WOP飛秒激光加工系統(tǒng)在操作上可移動(dòng)XYZ位移平臺(tái)，旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)可掃描振鏡，可調(diào)激光參數(shù)，使用者操作的機(jī)器視覺可以觀察到工作區(qū)域平均功率（回饋）和偏振方向。

產(chǎn)品特點(diǎn)

l1.高速微加工 2.工業(yè)級(jí)飛秒器

l3.支持要求亞微米級(jí)分辨率物體的制造 4.飛秒加工模式有小熱影響區(qū)域

l5.納米精度的目標(biāo)定位 6.振鏡掃描器引導(dǎo)準(zhǔn)確的激光束

l7.易改變激光參數(shù) 8.原始軟件接口控制所有集成硬件設(shè)備

操作方便

有4個(gè)可以使用的顯微鏡轉(zhuǎn)臺(tái)諧波轉(zhuǎn)換，聚焦光學(xué)組件用顯微鏡轉(zhuǎn)臺(tái)切換控制，焦斑測定使用共聚焦系統(tǒng)，校準(zhǔn)CCD自動(dòng)成像，CCD自動(dòng)聚焦在樣品表面，測定樣品傾斜度自動(dòng)化，控制成像和視頻采集過程，制造軌跡和CCD視圖疊加，實(shí)時(shí)過程跟蹤，由鍵盤實(shí)施操縱。

FemtoLAB規(guī)格配置：

完整的規(guī)格配置包括：PHAROS飛秒激光器，SH,TH,FH發(fā)生器(帶有光束傳輸)，SH發(fā)生器振蕩輸出，由XYZ試樣的定位系統(tǒng)，掃描振鏡（安裝在XYZ上或通過4F光學(xué)系統(tǒng)傳遞），四個(gè)WATT PILOT衰減器，四個(gè)偏振旋轉(zhuǎn)器，自聚焦和機(jī)器視覺裝置，SLM或其它波束成形器，切換諧波反射鏡和聚焦光學(xué)器件的轉(zhuǎn)臺(tái)。

組裝的空間不超過1 m x 2.5 m，所有裝置都將在我們微加工軟件SCA教學(xué)系統(tǒng)指導(dǎo)下自動(dòng)操作。

FemtoLAB應(yīng)用

FemtoLAB飛秒加工系統(tǒng)的主要應(yīng)用于，表面要求微納結(jié)構(gòu)，雕刻，鉆孔 ，激光光刻和多光子聚合，材料的折射率修正， 選擇層去除，切削脆性材料，光波導(dǎo)制備， 持其它的任務(wù)擴(kuò)展和補(bǔ)充裝置。

WOP工業(yè)用飛秒激光加工系統(tǒng)FemtoFAB

（FemtoFAB Micromachining System）

飛秒激光加工機(jī)床，工業(yè)用飛秒激光加工系統(tǒng)

FemtoFAB是飛秒激光系統(tǒng)在工業(yè)上的加工應(yīng)用系統(tǒng)，配置選定后，根據(jù)客戶特定要求進(jìn)行組裝調(diào)試，能做成激光切割，激光劃線，激光鉆孔，3D激光銑削（使用的激光峰值功率>2.4GW）。系統(tǒng)加工過程中要使用級(jí)激光安全防護(hù)罩保護(hù)并通過單個(gè)SCA工程軟件窗口控制。

SCA工程自動(dòng)化軟件

為便于控制激光微加工過程而研發(fā)的系統(tǒng)控制應(yīng)用程序（SCA），使單一軟件程序包含了所有硬件設(shè)備，不僅制作了整體的解決方案，而且在終用戶使用時(shí)可以將無關(guān)的設(shè)備控制程序去除。

l支持.bmp，.dxf，.stl文件輸出格式

l可設(shè)置非機(jī)器語言

l簡明直觀的用戶界面體驗(yàn)

l工作區(qū)域平均功率（回饋）

l標(biāo)準(zhǔn)打印控制語言（支持HPGL）

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.具備高加工速度，高達(dá)300mm/s（高要求），支持要求亞微米級(jí)分辨率物體的制造，飛秒加工模式有小熱影響區(qū)域，納米精度的目標(biāo)定位，使用電流計(jì)掃描儀，脈沖密度控制（單點(diǎn)到350KHz），原始軟件接口控制所有集成硬件設(shè)備

2.76MHz振蕩輸出和達(dá)到1MHz放大輸出的脈沖重頻的高可靠度工業(yè)級(jí)飛秒激光系統(tǒng)，與Aerotech線性定位平臺(tái)以及掃描振鏡協(xié)調(diào)同步，在高速無熔微加工中優(yōu)勢突出。 3.納米級(jí)分辨率，高分辨率目標(biāo)定位系統(tǒng)（Aerotech XYZ線性平臺(tái)）與激光光束位置控制器（掃描振鏡）以及激光脈沖選擇器協(xié)調(diào)同步控制空間，時(shí)間和能量區(qū)域，使系統(tǒng)可以亞微米分辨率下加工難處理物體。

Machine vision機(jī)器視覺

與Aerotech線性定位平臺(tái)同步，并為整個(gè)系統(tǒng)提供視覺的高分辨率CCD相機(jī)組成的機(jī)器視覺系統(tǒng)，能夠獲取物體的位置，形狀或任一特征并對(duì)激光光束進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整。

產(chǎn)品應(yīng)用

lWOPFemtoFAB 主要應(yīng)用于陶瓷劃片， 玻璃切割，藍(lán)寶石切割，激光鉆孔，太陽能電池的制造，雙折射圖案的制作，其它精細(xì)微加工任務(wù)