型號

DH3020CNC

DH4030CNC

DH5040CNC

測量范圍(mm)

300×200×200

400×300×200

500×400×200

外型尺寸（mm）

1420×775×1630

1660×980×1660

1720×1210×1660

重量（kg）

290

420

470 

測量精度(um)

光學

2.8+L/200

3.0+L/200

4.5+L/200

探測

3.5+L/150

載荷（kg）

15

光柵尺分辨率（標配）

玻璃光柵尺 1um 

 光柵尺分辨率（選配）

 玻璃光柵尺 0.5um、進口貼片光柵

控制系統(tǒng)

DEXIN ACC 閉環(huán)控制系統(tǒng)

電機

Z軸采用混合式馬達

XY軸伺服電機（有兩種可選配：有一種日本原裝伺服，一種國產(chǎn)伺服）

照明光源

8分區(qū)環(huán)形光、各段獨立操控、LED平行底光

物鏡（X）標配

0.7X-4.5X手動變倍鏡頭、影像放大倍率 2.8X-170X

 物鏡（X）選配

 0.7X-4.5X全自動變倍鏡頭（可根據(jù)客戶產(chǎn)品需求，倍率可縮小或放大）

工業(yè)相機（標配）

工業(yè)黑色/彩色CCD （sony芯片）540線

工作環(huán)境

溫度20℃±2℃，溫度變化﹤2℃/hr,濕度30～80﹪

振動﹤0.002g，低于15Hz 

工作電壓

220V+10%,50Hz-60Hz

驗收方式

以玻璃線紋尺驗收/有效行程內(nèi)任一位置