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BROOKS金屬密封熱質量流量控制器GF125系列

GF125 系列產品是第二代多變量壓力變化補償型 (PTI) 金屬密封質量流量控制器和儀表，有著超快的響應速度和超高的純度。作為個將 PTI 質量流量控制技術引入市場的 GF125 系列產品大限度降低了壓力和溫度波動導致的過程氣體流量變化。一臺采用標準 MultiFlo? 技術的 MFC 即可滿足數千種氣體類型和各種量程組合的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度。

結果：降低了氣體顯示屏尺寸和成本，這得益于省去了壓力調節器、壓力傳感器和相關硬件的使用并輔以行業佳的 PTI 性能以大限度提高產率和生產效率。

特點

長期零點穩定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%ar

穩定時間極短：300 ms - <700 ms

滿量程流速高達 300 slpm

超高純度流路 - 4μ 英寸 Ra 表面處理

符合 SEMI F20 標準的接液材料

采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy? T-Rise 傳感器

可進行快速反應的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產品經七百萬次循環

MultiFlo? 技術擁有的靈活性 — 一臺設備經編程設定后即可滿足數千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度

本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網絡地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題

DeviceNet RS-485 L-協議和模擬接口

優勢

GF125 系列產品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術與能夠進行快速反應的無隔膜閥組件相結合，可將響應速度和穩定速度較之其他質量流量控制器提高 3 倍。

經優化的接液流路，可提升干燥效果

MultiFloTM 技術可實現 MFC 流量測定量程的重新設定，通常是按 3:1 下調并且不影響精度，量程比或內漏率，以提供佳的工藝和庫存靈活性

的氣體數據庫為您提供廣泛的氣體保護信息

壓力變化補償 (PTI) 功能能夠克服傳統 MFC 的限制（受進氣壓力波動影響明顯）。產品效果表明其性能穩定并且可達到預期精度。

便捷的用戶顯示屏和獨立的診斷/維護端口有助于設備安裝、監測和故障排除

關鍵應用

半導體

MOCVD（金屬有機化學氣相沉積）

要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應用

Brooks Instrument是精密流體測量和控制技術的，能夠實現的工藝性能，成立于1946年美國。是是ITW一個部門，ITW是的專業工業設備，消耗品和相關服務業的多元化制造商之一。主要產品包括：Brooks Instrument質量流量控制器、Brooks Instrument轉子流量計、Brooks Instrument壓力傳感器、變送器、真空計、調節器、控制器等，廣泛應用于重工業、油氣精煉、化學和石化研究、制藥和生物制藥生產、太陽能電池、LED薄膜、光纖和半導體制造領域。

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