SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀 產(chǎn)品型號：SuperView W1 產(chǎn)品名稱：光學(xué)3D表面輪廓儀 影像系統(tǒng)：10241024（20482048，25921944可選） 光學(xué)Zoom：1，（0.75，0.5可選） 干涉物鏡：2.5，5，10，20，50 XY平臺：尺寸320200mm，行程140110mm，電控 XY橫向分辨率：0.4m Z軸行程：100mm Z向分辨率：0.1nm 單次Z向掃描范圍：10.3mm，厚度重復(fù)性1nm Z向掃描速度：45m/s 可測樣品高度：100mm 可測樣品反射率：0.05%-99% 水平調(diào)整：5 粗糙度RMS重復(fù)性：0.005nm 臺階高測量：準(zhǔn)確度＜0.7%，重復(fù)性＜0.1% 1 主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效