型號

VX5030

VX5060

VX5100

圖像傳感器

500萬像素CMOS

外接顯示器

24英寸 LCD顯示器（XGA：1920×1080）

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

透射照明系統

遠心透過照明（綠色）

視野

20×20mm

Φ60mm

Φ100mm

重復精度

±1μm

±2μm

測量精度

±2μm

±5μm

測量軟件

VisionX

顯示分辨率

0.1μm

電動載物臺

轉動速度

0.2轉/秒~2轉/秒

直徑

Φ80mm

承重

3kg

外形尺寸(L×W×H) mm

200×260×635

200×260×635

200×325×700

重量

12kg

14kg

16kg

工作電源

AC220V/50Hz

工作環境

溫度10℃~35℃，濕度30~80%，振動<0.002g，低于15Hz