【Microchem Su-8 3000系列 光刻膠】是高對(duì)比度、環(huán)氧基負(fù)性光刻膠，專為微電子領(lǐng)域的應(yīng)用而設(shè)計(jì)。SU-8 3000是SU-8 2000的改進(jìn)配方，多年來一直被MEMS制造商廣泛使用。SU-8 3000通過改進(jìn)配方，提高了膠膜在基片上的附著力并降低了涂層的應(yīng)力。SU-8 3000的粘度范圍使其在單涂層中可以形成4 - 120 m的膜厚。SU-8 3000具有出色的成像特性，能夠產(chǎn)生非常高的、甚至超過5:1的縱橫比結(jié)構(gòu)。SU-8 3000在360 nm以上具有非常高的光透射率，這使其適合在非常厚的薄膜中形成近似垂直側(cè)壁的結(jié)構(gòu)。