一、【等離子去膠機(jī)】功能特點(diǎn)：

（01）耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置；

（02）不銹鋼托盤設(shè)計(jì)，可調(diào)節(jié)托盤間距；

（03）8K 鏡面不銹鋼腔體；

（04）13.56MHz 數(shù)字高頻等離子發(fā)生器；

（05）直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控；

（06）方便的定期校準(zhǔn)設(shè)備連接驗(yàn)證過程中使用的要求；

（07）支持各種工藝氣體，如：氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體；

（08）兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的浮子針閥流量控制器，用戶可以根據(jù)需要來調(diào)節(jié)；

二、【等離子去膠機(jī)】技術(shù)參數(shù)：

（01）射頻頻率：13.56 MHz

（02）射頻功率：0-300W 可調(diào)

（03）腔體材質(zhì)：進(jìn)口 316 鏡面不銹鋼，級(jí)密封

（04）腔體尺寸：240(L)*280(D)*200(H)mm

（05）腔體有效處理面積：230（L）× 205（D）mm

（06）處理產(chǎn)品尺寸：可處理 8 寸晶圓，向下兼容 6 寸，4 寸晶圓

（07）放電電極：高導(dǎo)電鋁合金專用電極

（08）放電形式：CCP & RIE 離子反應(yīng)放電模式

（09）電極間距：可調(diào)整電極之間的距離，調(diào)整等離子體強(qiáng)度和密度，大大提升處理能力和效率

（10）氣體流量控制器：浮子針閥流量控制器， 0-500ml/min

（11）氣路數(shù)量：2 路氣體，支持氧氣，氬氣，氮?dú)猓瑲錃獾?nbsp;（如需接入腐蝕性氣體，需提前告知）

（12）真空計(jì)：有真空計(jì)

（13）系統(tǒng)控制：4.3寸觸摸屏PLC控制

（14）電源供應(yīng)：220V

（15）氣管接口：φ8mm

（16）氣體純度：99.99%

（17）氣體壓力：0.3~0.6Mpa

（18）排氣口：KF25

（19）整機(jī)功率：1000W

（20）外形尺寸：600mm(L)×550mm(W) ×580 mm(H)

（21）重量：80kg