IDP-3真空泵 產(chǎn)品特點(diǎn):
1、采用獨(dú)立馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計(jì);
2、系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定,低噪聲、低振動(dòng)、低泄漏;
3、適配美國Harrick Plasma等離子清洗機(jī);
4、外型尺寸:351x181x140mm
5、電源系統(tǒng):電壓 200 ~ 220 VAC (50/60 Hz)
6、適用于小型等離子體設(shè)備把氧氣作為工藝氣體環(huán)境;
IDP-3真空泵 技術(shù)參數(shù):
(1)抽速:50Hz, 3 m3 /hr, 1.8cfm
(2)極限壓強(qiáng):2.5X10-1 torr/3.3X10-1 mbar
(3)進(jìn)氣口壓強(qiáng):低于1 個(gè)大氣壓/0PSI
(4)出氣口壓強(qiáng):低于1.4 個(gè)大氣壓 6.5PSI
(5)進(jìn)氣口法蘭:NW16KF 法蘭
(6)出氣口法蘭:1/4NDP
(7)工作溫度:-5-45℃/41-113℉
(8)存放溫度:-20-60℃/41-113℉
(9)發(fā)動(dòng)機(jī)功率:0.16 馬力/0.12kW
(10)電源:單相,-220-240VAC,50-60Hz
(11)轉(zhuǎn)速:2600PRM
(12)冷卻:空氣自然冷卻
(13)重量:9.5Kg/21Ibs
(14)漏率:<1X10 -6 std-cc/sec
(15)噪音:55db/A
(16)進(jìn)氣口震動(dòng):1.5mm/sec
(17)注意事項(xiàng):不要接近易腐蝕,易爆物及特殊氣體。




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