1. 系統(tǒng)
| 貨號(hào) | 型號(hào) | 主機(jī)規(guī)格 | |
| X1 軸測(cè)量范圍 | Z1軸測(cè)量范圍 | ||
| 218-633DC | CV-2100M4 | 100 mm | 50 mm |
1-1. 系統(tǒng)圖
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| ・分析軟件 ・電腦 ・打印機(jī)
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| 數(shù)據(jù)處理部 |
1-2. 數(shù)據(jù)處理部
| 分析軟件 |
| FORMTRACEPAK V5.4（CV） |
2. 主機(jī)規(guī)格
| 測(cè)量范圍 | X1 軸 | 100 mm | |
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| Z1軸 | 50 mm | |
| 垂直移動(dòng) |
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| 350 mm 快速上下動(dòng)和微動(dòng) |
| X1 軸傾角范圍 |
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| ±45° 手動(dòng) |
| 類(lèi)型 | X1 軸 |
| 反射型線性編碼器 |
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| Z1軸 |
| 圓弧光柵尺 |
| 分辨力 | X1 軸 |
| 0.1 μm |
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| Z1軸 |
| 0.1 μm |
| 驅(qū)動(dòng)速度 | X1 軸 |
| 0～20 mm/s外加手動(dòng) |
| 測(cè)量速度 |
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| 0.02～5 mm/s |
| 直線度（以X1軸為水平方向上） |
| 2.5μm/100 mm | |
| 指示精度 | X1 軸 |
| ±（2.5＋0.02L）μm L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度（mm） |
| （20℃） | Z1軸 |
| ±（2.5＋｜0.1H｜）μm H：基于水平位置的測(cè)量高度（mm） |
| 測(cè)針上／下運(yùn)作 | 弧形移動(dòng) | ||
| 測(cè)量方向 |
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| 向前/向后 |
| 測(cè)針?lè)较?/span> |
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| 向下 |
| 測(cè)力 |
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| 30±10 mN |
| 跟蹤角度 | 向上 |
| 77°（依表面粗糙度而定） |
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| 向下 |
| 87°（依表面粗糙度而定） *使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭 |
| 測(cè)針針尖 | 半徑 |
| 25μm |
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| 材料 |
| 硬質(zhì)合金 |
| 基座尺寸 |
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| 600×450 mm |
| 基座材料 |
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| 花崗巖 |
| 尺寸 | 主機(jī) |
| 651×143×138.5 mm |
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| 立柱部 | 885×745×450 mm | |
| 重量 | 主機(jī) |
| 5.8 kg |
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| 立柱部 | 140 kg | |
| 使用溫度范圍 |
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| 0～40 ℃ |
| 使用濕度范圍 |
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| 20～80 %RT 但是不能結(jié)露 |
| 保存溫度范圍 |
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| -10～50 ℃ |
| 保存濕度范圍 |
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| 5～90 %RT 但是不能結(jié)露 |
| 電源 |
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| AC 100～120V、200～240 V±10%、AC50/60 Hz |
| 消耗功率 |
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| 30 W |
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